Substrat iz aluminijevega nitrida

Mulitsubstrat(3 a1203. 2Si02): je ena najstabilnejših kristalnih faz v binarnem sistemu A1203-Si02, čeprav sta mehanska trdnost in toplotna prevodnost nizki v primerjavi z A1203, vendar je njegova dielektrična konstanta nizka, zato se pričakuje, da bo dodatno izboljšala signal hitrost prenosa. Koeficient toplotnega raztezanja je prav tako nizek, kar lahko zmanjša toplotno obremenitev LSI, razlika v koeficientu toplotnega raztezanja materiala prevodnika Mo, W pa je majhna, zaradi česar je med cikliranjem nizka napetost med prevodnikom.

Aluminijnitridni substrat:
a. Surovina: AIN je nenaravna prisotnost, ampak umetni mineral leta 1862, ki so ga prvi sintetizirali Genther et al. Predstavitev zastopanja prahu Aln je zmanjšati nitridno metodo in metodo neposrednega nitriranja. Prvi reagira z redukcijo ogljika visoke čistosti v A1203 in nato reagira z dušikom, drugi pa neposredno nitrira. ;

b. Metoda izdelave: A1203substratproizvodnja se lahko uporablja pri izdelavi substratov AIN, pri čemer je največja uporaba metode organske laminacije, to je prah surovine AIN, organsko lepilo in topilo, površinsko aktivna mešanica. Keramična gošča, prenesena, laminat, vroča stiskalnica, razmaščevanje, žganje

C. Značilnosti substrata AIN: AIN je več kot 10-krat, CTE pa se ujema s silicijevo rezino. Material AIN je relativno povezan z A1203, izolacijska upornost, izolacija in dielektrična konstanta so nižje. Te lastnosti so zelo redke za aplikacije embalažnega substrata;

d. Uporaba: Uporablja se za VHF (ultra visokofrekvenčni) frekvenčni pasovni ojačevalni modul, visoko zmogljivo napravo in substrat laserske diode.